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18" Zgyo-Interferometertest für D300mm-Fensterprodukte
WTS Photonics Technology CO., LTD arbeitet an einem Quarzglasfenster mit einem Durchmesser von 300 x 50 mm. Die Ebenheitsanforderung beträgt L/10 bei 632,8 nm. Nach der ersten Bearbeitung beträgt die Ebenheit 0,137 Lambda. Die Reparatur und Fertigstellung erfolgt im August. 0,1 l.
WTS könnte für die größten Fenster mit einem Durchmesser von 500 mm arbeiten und Tests für 18 anbieten” ZYGO-Testbericht. Als Material kommen Quarzglas, ZnS, SiC usw. infrage. Meistens handelt es sich um Quarzglas. WTS bietet Quarzglasprodukte in großen Größen der Marken Conring, Heraeus, Ohara und Nikon an.
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