So geben Sie die mit dem Interferometer gemessenen Daten in OpticStudio ein

In diesem Fall verwenden wir als Beispiel das vom ZYGO-Interferometer bereitgestellte Datendateiformat. Das vom ZYGO-Interferometer generierte Datendateiformat für das Unternehmen. ZXGRD-Datei, wir müssen das Dateiformat in OpticStudio konvertieren. DAT-Datei.
Wir verwenden beispielsweise Daten vom ZYGO-Interferometer, das vom ZYGO-Interferometer generierte Datendateiformat für das Unternehmen. ZXGRD-Datei, wir müssen das Dateiformat in OpticStudio konvertieren. DAT-Datei, und die Datei im Zemax-Stammverzeichnis „DocumentZemax/ObjectsGrid Files“ speichern.
Der Screenshot am Anfang der Datendatei zeigt, dass das Datenformat mit dem im Artikel der letzten Woche erwähnten Grid Sag-Datenformat identisch ist. Die Anzahl der Datenpunkte in XY-Richtung beträgt 732, und da der Abstand zwischen den Datenpunkten 0,01344 beträgt, beträgt der Durchmesser der Datendatei 9,72 mm. Wobei die erste Zeile der Datei ein Terminalflag (Flag) von 0 hat, das die Dateneinheit mm darstellt.

Es ist zu beachten, dass wir diese Datendatei als Phasendaten behandeln müssen, wenn die Messdaten als Wellenfrontdaten gespeichert sind. Der Gitterdurchhang von OpticStudio ist im Bogenmaß angegeben. Daher müssen die Messdaten konvertiert werden. Die Umrechnungsformel lautet wie folgt:
Zemax-Einheit (Radiant) = ZYGO-Maßeinheit (mm) x 2
In der Datendatei dieses Beispiels beträgt die gemessene Wellenlänge 632,8 nm. Dann gilt:
Zemax-Einheit (Radiant) = ZYGO-Maßeinheit (mm) x 2 PI / 0,0006328 = 9924 x (ZYGO-Maßeinheit)

Im Aperture Lens Editor (STO) wird der Phasenoberflächentyp auf ein Raster eingestellt und die Oberflächeneigenschaften werden über die Registerkarte „Import“ in die zuvor gespeicherte Datendatei importiert, in diesem Fall für den Test. Die DAT-Datei wird in der folgenden Abbildung dargestellt.
In der Zwischenzeit wird die Beugungsordnung der Gitterphase mit dem oben berechneten Einheitenumrechnungswert eingegeben:
Klicken Sie auf „OK“, um die folgenden Interferogrammergebnisse anzuzeigen, die mit den Daten des Interferometers übereinstimmen.